クリーンルームについて

ここでは、国際規格クリーンルーム規格ISO14644-1を示し、空気洗浄度をCLASS1～9で洗浄度クラスを分けています。日本で主流のクラス1~100,000(米国連邦規格の呼び。)などのクラス分けは今後ISO14644-1の“CLASS”での洗浄度クラス呼びが中心となります。

1m3当たりの0.1μ㎡以上の粒子の数によってクラス分けを行っています。

ケーブルでは、可動時に発生した0.1μm以上の数からCLASS検証を行っています。